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产品名称：	晶圆片托架落座传感器SPY801
型号：	EE-SPY801/802
描述：	薄片载体的落座检测,依靠与导槽并用，设定落座位置,晶圆片托架的接触面使用了氟素树脂。防化学性能优越,在独特的光学结构，几乎可稳定检测所有晶圆片托架,采用强抗外部干扰光的变调光方式,电线使用净化电线(无粉尘)。
说明书：

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